近日，在积极加入佛山疫情防控硬仗的同时，季华实验室科研团队也传来了好消息：由实验室大功率半导体研究团队自主研发的SiC高温外延装备，取得突破性进展，将解决我国第三代半导体SiC器件生产用关键工艺装备全部依赖进口的“卡脖子”问题。

科研出成果

高温外延装备有望打破国外垄断

SiC外延是SiC器件生产过程中的核心工艺，生产成本占器件生产过程的22%，其生产装备长期被欧美等发达国家垄断。

在实验室大功率半导体研究团队的实验室，研究人员正在进行紧张的工艺调试。就在不久前，他们克服了国外技术封锁、疫情等重重困难，在一年不到的时间里，突破了多项交叉学科难题，让设备实现了首次近30小时的稳定运行，实现相关指标达到国际先进水平，升温速率、最高工艺温度等部分指标领先国际先进水平。

SiC外延装备实物照片。

相关负责人介绍，项目目前已申请共计30余件发明专利，其中4件已获得专利授权，装备的主要功能和性能指标已达到设计要求。项目采用高稳定气体流场、压力场控制、感应加热、反应腔整机系统设计方案，结合自主开发的原位监控技术、在线清洗技术以及涂层材料和工艺，实现了SiC外延的快速、高质量生长，同时提高设备运行的可靠性和稳定性。

“该装备的成功研制将解决我国第三代半导体SiC器件生产用关键工艺装备全部依赖进口的‘卡脖子’问题。”该负责人介绍，设备核心部件全部采用国产，整机国产化率超过85%。

据介绍，大功率半导体团队还在同时展开SiC外延工艺及产品研发、SiC长晶工艺及装备开发、SiC离子注入工艺及装备开发，以科研为基础、工程化及应用化为目标，打造覆盖核心技术的全流程链研发中心，引领粤港澳大湾区的第三代半导体装备产业美好愿景。

防疫不放松

派党员志愿者支持社区核酸检测工作

在疫情防控的特殊时期，在加快核心技术攻关的同时，季华实验室也及时修订了新冠肺炎疫情防控和应急处置预案，明确各项疫情防控措施及应急处置办法，并将各项工作责任到人，用实际行动参与佛山疫情防控中。

季华实验室党委组织党员参与社区疫情防控。

天下功夫，唯快不破，疫情防控亦是如此。4月9日，广州市白云区一地调整为中风险地区，由于邻近广州，季华实验室迅速启动预案，排查有广州市旅居史人员，并对相应人员开展新冠病毒核酸检测“三天两检”。4月13日，实验室也积极响应桂城街道全域实行围合管理的通告，全面实施了围合管理。

同时，季华实验室党委还积极组织党员同志参与社区疫情防控。4月9日，得知文翰社区急需志愿者协助开展全员核酸检测，季华实验室的12名党员同志们闻令而动，在社区带领下，从中午十二点连续工作到晚上十点，全力完成疫情防控任务。

文/图 佛山日报记者倪玉洁 通讯员关瑶