佛山日报讯 记者倪玉洁报道：3月25日，广东华特气体股份有限公司（下称“华特气体”）通过官方渠道发布消息称，公司近日与四川红华实业有限公司（以下简称“红华实业”）签署了高纯三氟化氯生产技术合作开发协议，双方拟共同研发高纯三氟化氯的核心技术，一举打破国外垄断市场的局面，使高纯三氟化氯快速实现国产化替代。

华特气体与红华实业签订高纯三氟化氯研发合作协议。图片来源企业

高纯三氟化氯主要用于芯片制程中的蚀刻、硅片和腔体清洗，由于其高氟碳比和较强的氟离子自由基，在先进制程中的应用越来越广泛，特别在14nm以下制程中，是不可替代的新型蚀刻材料。此外，高纯三氟化氯相比于普通的氟碳蚀刻材料，其极低的全球变暖潜能值，也满足未来芯片制程向更环保、更加可持续发展的需求。

目前，国内的高纯三氟化氯产品市场仍被日本、美国等国家垄断。持续以特种气体的研发为核心，打破更多的产品进口替代为使命，突破更多、更难的半导体材料应用技术难点为目标的华特气体，经过多次调研、交流和探索，选择了国内技术力量雄厚、检测手段齐全、研发能力强劲的红华实业为合作对象，拟使高纯三氟化氯快速实现国产化替代。

此次合作，双方将充分发挥多年的研究、应用成果和科研团队优势，进一步实现技术突破，从而达到进口替代的目标，同时促进国家半导体行业的发展。随着半导体工艺的不断升级迭代，未来高纯三氟化氯在芯片制造、第三代半导体、面板等行业拥有广阔的市场潜力，此次合作也将有助于提高华特气体的盈利能力和核心竞争力，助力公司深耕特种气体行业。