面向“十五五”的超精密装备：挑战与机遇

曹健林

季华实验室理事长、主任，国家新型显示技术创新中心理事长。科学技术部原副部长。主要从事EUV多层膜和相关工程光学技术研究。

面向“十五五”的半导体装备的挑战与机遇

叶甜春

中国科学院微电子研究所研究员，我国集成电路工艺与器件领域主要学术带头人之一。主要研究领域：集成电路先导工艺与器件、抗辐射电路、纳米加工等核心技术。

我国超精密装备行业发展和耐心资本的支撑

姜 洪

国家开发银行研究院研究员。国务院政府特殊津贴专家，惠新基金特邀高级专家。主要从事金融方面研究。

超精密装备中的材料科学和技术

谭 军

季华实验室测试中心主任、研究员。广东省电镜学会理事，广东省材料学会理事。主要从事材料微观结构和使役行为研究。

先进光学超精密制造技术现状、问题与建议

张 鑫

季华实验室总装中心主任、副研究员。主要从事先进光学系统集成制造技术方向的研究。

海 阔

中国工程物理研究院机械制造工艺研究所超精密研究中心副主任、高级工程师。主要从事复杂曲面强激光元件超精密制造技术。

自主创新驱动下的高端装备制造突围路径

——以高端光刻机工件台研发与产业化为视角

朱 煜

清华大学机械系长聘教授。主要研究领域：超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、集成电路（IC）制造装备等。

国产高端装备在航空发动机制造领域应用现状和发展趋势

陈 虎

科德数控股份有限公司总经理、中国机床工具工业协会副理事长，研究员级高级工程师。长期致力于数控系统构架、机床拓扑结构、运动控制算法、工业现场总线等技术研究。

高端数控机床正向设计方法发展研究及建议

高卫国

天津大学机械工程学院教授、博士生导师。研究方向为精密数控机床热精度设计与调控技术。

张大卫

天津大学机械工程学院教授、博士生导师。研究方向为高端数控机床正向设计理论与方法。

显示面板制造装备国产化的思考与行动

马松林

国家新型显示技术创新中心主任、教授级高级工程师。国家新型显示产业技术创新战略联盟秘书长，TCL工业研究院副院长。主要从事Linux嵌入式系统、高清数字电视等智能终端产品设计技术和新型显示工艺技术研究。